Was sind mikroelektromechanische Systeme (MEMS)?
Cosa sono i dispositivi per sistemi microelettromeccanici (MEMS)?
MEMS-Geräte sind kleine mechanische und elektronische Systeme, die Sensoren, Aktoren und Verarbeitungsfunktionen auf einem einzigen Chip vereinen.
I dispositivi MEMS sono sistemi meccanici ed elettronici su piccola scala che combinano sensori, attuatori e capacità di elaborazione su un unico chip.