SEM-EDX cihazı çeşitli yüzeylerin nanometre düzeyinde hem iki boyutlu topografik görüntülerinin elde edilmesinde hem de yüzeydeki kimyasal kompozisyonun belirlenmesinde kullanılır. SEM-EDX cihazı, Fizik, Kimya, Biyoloji, Tıp ve Mühendislik bilimlerinde elde edilen materyallerin görüntüsünün alınmasında kullanılmaktadır. Ayrıca bu cihaz sanayi kuruluşlarında üretilen malzemelerin üretim, kalit
e kontrol ve Ar-Ge çalışmalarında sıklıkla kullanılmaktadır.
SEM analizlerinde bazı örnek tipleri için (biyolojik, seramik vb.) numunenin kuru ve kaplanmış olması gerekmektedir. Bu amaçla DEFAM bünyesindeki SEM örnek hazırlama laboratuvarında Kritik nokta kurutucu ve Au-Pd Kaplama cihazı da hizmete açılmıştır. Daha detaylı bilgiye DEFAM web sitesindeki SEM RANDEVU sisteminden ulaşılabilir. (https://defam.cbu.edu.tr/).