Dalam industri semikonduktor, cahaya inframerah dapat digunakan untuk mencirikan bahan - bahan seperti film tipis dan struktur parit periodik. Dengan mengukur refleksi cahaya dari permukaan wafer semikonduktor, indeks refraksi (n) dan Koefisien Kepunahan (k) dapat ditentukan melalui persamaan dispersi Forouhi-Bloomer. Refleksi dari cahaya inframerah juga dapat digunakan untuk menentukan dimensi, kedalaman, dan sisi dinding sudut aspek struktur rasio tinggi.
Selain dimensi dan kedalaman yang kritis, apa yang dapat digunakan untuk menentukan indeks pembiasan cahaya inframerah?
dinding sudut aspek struktur rasio