Dalam industri semikonduktor, cahaya inframerah dapat digunakan untuk mencirikan bahan - bahan seperti film tipis dan struktur parit periodik. Dengan mengukur refleksi cahaya dari permukaan wafer semikonduktor, indeks refraksi (n) dan Koefisien Kepunahan (k) dapat ditentukan melalui persamaan dispersi Forouhi-Bloomer. Refleksi dari cahaya inframerah juga dapat digunakan untuk menentukan dimensi, kedalaman, dan sisi dinding sudut aspek struktur rasio tinggi.
Apa refleksi diukur dari permukaan dimensi kritis?
cahaya