Ukuran Ion digunakan dalam vakum ultrahigh. Mereka datang dalam dua jenis: katoda panas dan katoda dingin. Dalam versi cathode panas Filamen listrik dipanaskan menghasilkan sinar elektron. Elektron melakukan perjalanan melalui pengukur dan ionisasi molekul gas di sekitar mereka. ion yang dihasilkan dikumpulkan pada elektroda negatif. Arus bergantung pada jumlah ion, yang tergantung pada tekanan pada alat pengukur. Pengukur cathode panas akurat dari 10verse3 torr sampai 10 193610 torr. Prinsip di balik versi katoda dingin adalah sama, kecuali bahwa elektron diproduksi dalam pembuangan diciptakan oleh pelepasan listrik tegangan tinggi. Pengukur cathode yang dingin akurat dari 10 Donnelly2 torr ke 109 torr. Pengukur ionisasi kalibrasi sangat sensitif terhadap geometri konstruksi, komposisi kimia gas yang diukur, korosi dan deposit permukaan. Kalibrasi mereka dapat dibatalkan oleh aktivasi pada tekanan atmosfer atau vakum rendah. Komposisi gas pada vakum tinggi biasanya tidak dapat diprediksi, sehingga spektrometer massa harus digunakan bersama dengan pengukur ionisasi untuk pengukuran yang akurat.
Apa yang diionisasi ketika elektroda perjalanan melalui spektrometer massa?
molekul gas