制造光刻机需要多个学科的专业知识。根据我的搜索结果，制造光刻机的核心专业包括电子学、光电信息、微电子和机械电子。此外，光刻机的研发本来就是集光学、电子、机械、软件、算法、物理、微电子等多学科为一体的。
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