Parts of machines and apparatus of a kind used solely or principally for the manufacture of semiconductor boules or wafers, semiconductor devices, electronic integrated circuits or flat panel displays; parts of other special-purpose machinery
Parti di macchine e apparecchi del tipo utilizzato unicamente o principalmente per la fabbricazione di semiconduttori o dischi «wafer», di dispositivi a semiconduttore, circuiti integrati elettronici o monitor a schermo piatto; parti di altre macchine per impieghi speciali