['The', 'samples', 'were', 'transferred', 'within', '1min', 'to', 'an', 'Oxford', 'Instruments', 'OpAL', 'reactor', 'and', 'thin', 'films', 'of', 'HfO2', 'were', 'deposited', 'on', 'the', 'Al2O3', 'using', 'atomic', 'layer', 'deposition', '(', 'ALD', ')', '.']