['To', 'address', 'the', 'issue', 'of', 'reduced', 'etch', 'resistance', 'of', 'thin', 'photoresist', 'films', 'the', 'semiconductor', 'industry', 'has', 'begun', 'to', 'develop', 'multilayer', 'processes', 'where', 'the', 'pattern', 'is', 'first', 'transferred', 'into', 'an', 'intermediate', 'organic', 'hardmask', 'with', 'higher', 'etch', 'selectivity', 'before', 'final', 'silicon', 'pattern', 'transfer', '[', '25–27', ']', '.']