['In', 'this', 'paper', 'we', 'demonstrate', 'how', 'the', 'introduction', 'of', 'such', 'a', 'multilayer', 'process', 'can', 'also', 'benefit', 'nanosphere', 'lithography', 'by', 'increasing', 'achievable', 'aspect', 'ratios', 'of', 'silicon', 'nanopillars', 'without', 'the', 'need', 'for', 'complex', 'etch', 'processes', 'requiring', 'specialised', 'and', 'expensive', 'equipment', ',', 'but', 'instead', 'needing', 'only', 'a', 'standard', 'SF6', '/', 'C4F8', 'inductively', 'coupled', 'plasma', '(', 'ICP', ')', 'mixed', 'mode', 'etch', 'process', 'at', 'room', 'temperature', '[', '28', ']', '.']