['If', 'a', 'layer', 'has', 'constituents', 'that', 'are', 'not', 'forming', 'volatiles', 'with', 'the', 'reactive', 'gas', ',', 'e.g.', 'W', 'and', 'Be', 'with', 'O2', ',', 'these', 'constituents', 'can', 'not', 'be', 'removed', 'by', 'TCR', ',', 'as', 'they', 'will', 'not', 'be', 'removed', 'from', 'the', 'deposit', '.']