['As', 'the', 'progression', 'towards', 'smaller', 'lithographic', 'nodes', 'continues', 'it', 'has', 'become', 'necessary', 'to', 'adopt', 'thinner', 'resist', 'films', 'to', 'mitigate', 'problems', 'such', 'as', 'pattern', 'collapse', '.']