['To', 'date', ',', 'several', 'instruments', 'have', 'been', 'designed', 'for', 'such', 'goals', ',', 'namely', ',', 'scanning', 'electron', 'microscopes', '(', 'SEM', ')', ',', 'atomic', 'force', 'microscopes', '(', 'AFM', ')', 'and', 'transmission', 'electron', 'microscopes', '(', 'TEM', ')', '[', '62,63', ']', '.']