['In', 'order', 'to', 'enable', 'further', 'processing', ',', 'the', 'SoC', 'should', 'be', 'rendered', 'insoluble', 'in', 'typical', 'solvents', 'for', 'resist', 'and', 'spin', '-', 'on', '-', 'hardmask', 'to', 'enable', 'further', 'processing', '.']