Binnenkort gaat een groot nieuw onderzoeksprogramma's van start in het kader van 'Perspectief voor de Topsectoren' van de Nederlandse Organisatie voor Wetenschappelijk Onderzoek (NWO). Professors Paul Urbach en Wim Coene hebben bij dit project rondom lensless imaging een leidende rol.
Het in beeld brengen van kleine 3D-voorwerpen en andere nanostructuren is essentieel voor verschillende industrieën. Een goed voorbeeld is de 3D-imaging van structuren op geïntegreerde schakelingen (microchips). In de toekomst worden microchips gemaakt met behulp van lithografie met extreem ultraviolet licht, EUV-lithografie genaamd. De extreem kleine structuren die deze techniek oplevert, kunnen worden bekeken met behulp van verschillende technieken. Helaas hebben deze technieken allemaal wel een beperking. De resolutie is bijvoorbeeld niet hoog genoeg, of de indringdiepte (tot welke diepte de structuren in beeld kunnen worden gebracht) is te beperkt.
SXR (Soft-X-rays) is een techniek die gebruikmaakt van zachte röntgenstraling die zowel een goede indringdiepte als een hoge resolutie oplevert. Toch is ook SXR niet ideaal. Er zijn hiervoor namelijk geen optische componenten, zoals lenzen. 'Lensloze beeldvorming' (lensless imaging), een vorm van microscopie waarbij de beeldvormende optica wordt vervangen door computeralgoritmen, kan dit probleem oplossen. De techniek is wereldwijd sterk in opkomst.
Het doel van dit onderzoeksprogramma is om de krachten van verschillende Nederlandse expertgroepen te bundelen om een coherente SXR-bron in Delft te ontwikkelen, en om zo de lensloze beeldvormingstechnologie met SXR binnen Nederland verder te ontwikkelen. Het is de bedoeling dat te realiseren SXR imaging-faciliteit deel uit gaat maken van de gedeelde faciliteiten van het Dutch Optics Centre (DOC).