Onder grof stof vallen de vaste zwevende deeltjes met een aerodynamische diameter groter dan 10 micron. De effecten van grof stof bestaan vooral uit de hinder doordat stof neerslaat in de leef- en woonomgeving.
Bij fijnstof gaat het om deeltjes met een aerodynamische diameter van ten hoogste 10 micron. Over het algemeen geldt dat hoe kleiner de deeltjes zijn, hoe dieper ze in de luchtwegen kunnen doordringen. Het fijnstof is vooral van belang voor de volksgezondheid.
De emissiegrenswaarde van 5 mg/Nm3 is in de meeste gevallen haalbaar met filtrerende afscheiders. Filtrerende afscheiders zijn doekfilters, lamellenfilters en andere filtersystemen waarbij het afgas door een medium afgevoerd wordt. Ook is door toepassing of optimalisatie van een andere geschikte techniek de emissiegrenswaarde van 5 mg/Nm3 haalbaar.