Een tweede wellicht nog groter punt van zorg betreft ASML's nieuwste Extreem Ultraviolet-technologie (EUV). ASML heeft hiervoor al tien bestellingen staan voor uitlevering in 2012, maar er zijn opnieuw problemen met de kracht van de lichtbron, die bepalend is voor het aantal siliciumschijven dat de machine kan bewerken.