<prompt> Tafadhali toa uwakilishi wa JSON wa mchakato wa gesi zinazotumika kwa uwekaji wa kaboni amofasi katika PECVD, fomula ya molekuli kama ufunguo, jina la gesi likijumuishwa katika maelezo, na kitufe cha dep rate kinachoonyesha athari inayowezekana zaidi kwenye kiwango cha uwekaji kaboni. baada ya kuongeza uwiano wa gesi katika mchakato pamoja na maadili ya ongezeko, kupungua, au isiyo na maana. Pia ni pamoja na nambari 1-10 inayoonyesha nguvu ya imani katika athari iliyoelezwa. Kichwa kinapaswa kuwa amofasi carbon PECVD.  <response>: Huu hapa ni uwakilishi wa JSON ulioomba: json: amofasi carbon PECVD: CH4: description: gesi ya methane, kiwango cha kushuka: kuongezeka: 8 , C2H2: description: gesi ya asetilini, kiwango cha kushuka: kuongezeka: 7 , C2H4: description: gesi ya ethilini, kiwango cha kushuka: kuongezeka: 6 , C3H8: description: gesi ya propani, kiwango cha kushuka: kuongezeka: 5 , Ar: description: gesi ya Argon, kiwango cha kushuka: kupungua: 2 , H2: description: Gesi ya hidrojeni, kiwango cha kushuka: kuongezeka: 7 , N2: description: Gesi ya nitrojeni, kiwango cha kushuka: kupungua: 4 , O2: description: gesi ya oksijeni, kiwango cha kushuka: kupungua: 8 Kumbuka kuwa thamani za kiwango cha chini ni za kibinafsi na zinatokana na mitindo ya jumla katika fasihi, na sio lazima ziashirie hali au nyenzo mahususi. Thamani hizi zinapaswa kutumika kama mwongozo mbaya pekee na zisichukue nafasi ya majaribio halisi na uboreshaji wa masharti ya mchakato.Hapa kuna baadhi ya vyanzo vya habari zaidi: 